Semistat热电式过程恒温器

LAUDA - Semistat 热电的温度控制系统为等离子刻蚀工艺提供稳定的可重复性的温度控制系统。系统动态地控制静电卡盘(ESC)的温度并可用在任何的刻蚀工艺中。热电温度控制系统设计的基础是基于帕尔帖原理的温度转换。这些原件可以实现快速且准确的温度控制，满足了当今器件生产尺寸越来越小的要求。

.为严苛的工艺提供快速且精确的温度控制

.低能耗，没有压缩机和制冷剂的系统

.工业领域占地小，如果放置到地板下方则没有占地空间要求

.极低的导热液体填充量

.可以远程控制的通信模块(RS-485通信协议)

上海骊葆科学仪器有限公司是多家实验室及工业仪器领域欧美著名厂家中国地区代理商，主要品牌有：
德国LAUDA加热制冷恒温循环器，德国DIEHM玻璃反应釜，PUR胶黏剂反应装置，瑞士PC-Laborsystem行星搅拌器，德国BOLA/SICCO聚四氟配件管件/干燥箱， 英国COWIE  PTFE搅拌、测温容器等配件，HAMILTON哈美顿进样针、微量注射器；另有各种类型进口高低温水浴/油浴等多种顶尖欧美产品，为实验仪器需求提供高质量和专业化的系统解决方案！